发布时间:2026-01-01 01:00:55 点击量:
国家知识产权局信息显示,安徽熙泰智能科技有限公司申请一项名为“一种优化PVD预溅射的腔体结构”的Kaiyun官方登录入口专利,公开号CN121228196A,申请日期为2025年9月。
专利摘要显示,本发明涉及薄膜制备技术领域,公开了一种优化PVD预溅射的腔体结构,包括溅射腔室、背板、靶材、防着板、进气口和孔洞;溅射腔室的底部设有用于穿过进气口的孔洞,背板、靶材和防着板均设置在溅射腔室的内部,背板的上表面设置靶材,防着板设置在背板和靶材的上方,进气口从防着板与背板之间的间隙插入。本发明通过设计碗状的防着板结构,增大了靶材和防着板之间的空间,保证了预溅射工艺气体的充足;并且通过将进气口设置在背板和防着板的间隙之间,工艺气体可快速填充靶材和防着板之间的空间,无需过大的气体流量通入,保证了预溅射工艺气体的充足和稳定性。
天眼查资料显Kaiyun官方登录入口示,安徽熙泰智能科技有限公司,成立于2016年,位于芜湖市,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本27501.05万人民币。通过天眼查大数据分析,安徽熙泰智能科技有限公司共对外投资了9家企业,参与招投标项目46次,财产线条,此外企业还拥有行政许可10个。
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